[發明專利]半導體器件的檢查裝置有效
| 申請號： | 200610083354.2 | 申請日： | 2006-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN1877341A | 公開（公告）日： | 2006-12-13 |
| 發明（設計）人： | 宮川末晴;池邊亮司 | 申請（專利權）人： | STK技術株式會社 |
| 主分類號： | G01R1/02 | 分類號： | G01R1/02;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京三幸商標專利事務所 | 代理人： | 劉激揚 |
| 地址： | 日本國大分縣大*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體器件 檢查 裝置 | ||
【說明書】：
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