[發明專利]制造自裝配微結構的方法無效
| 申請號： | 200610081905.1 | 申請日： | 1994-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN1893062A | 公開（公告）日： | 2007-01-10 |
| 發明（設計）人： | 約翰·S·史密斯;H·J·J·葉 | 申請（專利權）人： | 加利福尼亞大學董事會 |
| 主分類號： | H01L25/00 | 分類號： | H01L25/00;H01L23/13 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 張政權 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 裝配 微結構 方法 | ||
【權利要求書】：
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