[發明專利]薄膜圖案層制造方法

無效

• 申請號: 200610080406.0
• 申請日: 2006-05-09
• 公開（公告）號: CN101071187A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 周景瑜;王宇寧
• 申請（專利權）人: 虹創科技股份有限公司
• 主分類號: G02B5/23
• 分類號: G02B5/23;H01L51/50;B41J2/01;B41J29/38
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司
• 代理人: 周春發

【技術領域】

本發明涉及一種薄膜圖案層的制造方法。

【背景技術】

目前制造薄膜圖案層的方法主要包括：光微影法及噴墨法。

光微影法：通過在基板上涂敷光阻材料，將具有預定圖案的光罩設于光阻材料上，進行曝光顯影，或加上蝕刻制程，而形成具有預設圖案的薄膜圖案層。該光微影法需要抽真空裝置等大型設備或復雜的制程，并且，材料的使用效率較低而造成制造成本高。

噴墨法：噴墨方法能夠一次形成薄膜圖案層，使得制備過程大量簡化，成本大幅降低。故噴墨方法具有制程簡化、環保、節省原料等優點。在目前進行的薄膜圖案層制作中，噴墨法皆是使用噴墨裝置在已形成擋墻的玻璃基板上進行噴墨，并且一收容空間使用一個噴嘴進行噴墨，使墨水干燥形成薄膜圖案層。

然而，因為每個噴嘴的噴墨量與噴嘴有一定的聯系，故往往容易造成各收容空間的墨量差異較大，從而造成薄膜圖案層不均勻的狀況。

【發明內容】

有鑒于此，有必要提供一種能提高均勻度的薄膜圖案層的制造方法。

一種薄膜圖案層的制造方法，其步驟如下：提供一個基板；在該基板上形成多個擋墻，該擋墻與基板限定多個收容空間；通過噴墨頭將所需的墨水噴入收容空間內，并且使用至少兩個噴嘴對同一個收容空間噴墨；干燥固化收容空間中的墨水而形成薄膜圖案層。

由于每個噴嘴的噴墨量因噴嘴而有所差異，相較于現有技術，所述薄膜圖案層的制造方法，使用至少兩個噴嘴對同一個收容空間噴墨，故可以降低各收容空間的墨量差異，從而提高薄膜圖案層的均勻度。

【附圖說明】

圖1至圖14為本發明實施例提供的一種薄膜圖案層的制造方法示意圖，其中：

圖1為基板剖面示意圖。

圖2為形成有擋墻的基板剖面示意圖。

圖3至圖4為噴墨步驟的第一實施方式示意圖。

圖5至圖8為噴墨步驟的第二實施方式示意圖。

圖9至圖12為噴墨步驟的第三實施方式示意圖。

圖13為形成有薄膜圖案層的基板剖面示意圖。

圖14為形成有透明導電層的基板剖面示意圖。

【具體實施方式】

下面將結合附圖對本發明實施例作進一步的詳細說明。

請一起參閱圖1到圖14，是本發明實施例提供的一種薄膜圖案層的制造方法示意圖，該方法的步驟如下：

步驟一：提供一個基板100，如圖1所示。本實施例中該基板材料選用玻璃。當然，基板材料也可選用石英玻璃、硅晶片(Silicon?Wafer)、金屬或塑料等。

步驟二：在該基板100上形成多個擋墻102，該擋墻限定多個收容空間104，如圖2所示。擋墻102是由樹脂材料組成。該擋墻102可通過光罩對光阻材料層曝光顯影形成。

步驟三：通過噴墨頭200將所需的墨水噴入收容空間104內，并且使用至少兩個噴嘴202、204對同一個收容空間104噴墨，如圖3及圖4所示。

以收容空間104為例，先使用噴墨頭200中的噴嘴202對收容空間104噴墨，接著朝收容空間104的方向水平移動噴墨頭200，噴嘴204再對收容空間104噴墨。

作為步驟三的第二種實施方式，也可通過一噴墨頭300將所需的墨水噴入收容空間104內，并且使用至少兩個噴嘴302、304對同一個收容空間104噴墨，如圖5至圖8所示：

以收容空間104為例，噴墨頭300先沿著第一方向移動；

噴墨頭300中的噴嘴302對收容空間104噴墨；

噴墨頭300繼續沿著第一方向移動；

在噴墨頭300移動到收容空間104的右側后，再沿著與第一方向垂直的第二方向移動噴墨頭300；

當噴墨頭300移動至噴嘴304與收容空間104在同一直線上，噴墨頭300沿著第一方向的反方向移動；

噴嘴304再對收容空間104噴墨；

噴墨頭300繼續沿著第一方向的反方向移動。

作為步驟三的第三種實施方式，也可通過噴墨頭400、500將所需的墨水噴入收容空間104內。在本實施方式中，噴墨頭400、500是為同一型號的噴頭，設置在同一機臺(圖未示)，且兩者相對位置保持固定。使用噴墨頭400、500中的噴嘴402、502對同一個收容空間104噴墨，如圖9至圖12所示。

將噴墨頭400、500可視作一個整體，該整體的運動軌跡與步驟三的第二種實施方式中噴墨頭300的運動軌跡一樣，在此不再一一贅述。以收容空間104為例，先使用噴墨頭500中的噴嘴502對收容空間104噴墨，然后使用噴墨頭400噴嘴402再對收容空間104噴墨。