[發明專利]補償對工件上高對比度層、步進輻射中的能量差異的方法無效
| 申請號： | 200610080363.6 | 申請日： | 2002-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN1854905A | 公開（公告）日： | 2006-11-01 |
| 發明（設計）人： | 托布喬恩·桑德斯特羅姆;馬丁·奧爾森;珀·埃爾姆福斯;斯蒂芬·古斯塔夫森 | 申請（專利權）人： | 麥克羅尼克激光系統公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 黃小臨;王志森 |
| 地址： | 瑞典*** | 國省代碼： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 補償 工件 對比度 步進 輻射 中的 能量 差異 方法 | ||
【權利要求書】：
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