[發明專利]襯底加熱設備和方法以及涂覆和顯影系統有效
| 申請號： | 200610080314.2 | 申請日： | 2006-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN1862390A | 公開（公告）日： | 2006-11-15 |
| 發明（設計）人： | 林伸一;稻富弘朗 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/38 | 分類號： | G03F7/38;H01L21/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 溫大鵬;楊松齡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 加熱 設備 方法 以及 顯影 系統 | ||
【權利要求書】：
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