[發(fā)明專利]分解硫氟化合物的裝置及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610080310.4
• 申請(qǐng)日: 2006-05-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101069810A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏紹儀;許榮男;李壽南
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): B01D53/86
• 分類號(hào): B01D53/86;B01D53/68
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 封新琴;巫肖南

1.一種分解硫氟化合物的方法，包括下列步驟：

提供硫氟化合物與第一催化劑接觸，以分解該硫氟化合物形成第一分解物；以及

提供第二催化劑與該第一分解物接觸，以分解該第一分解物形成第二分解物，其中該第二分解物可溶于水；

其中該第二催化劑由下列步驟制備，所述步驟包括：

將第二載體浸于第二金屬鹽類水溶液中；

進(jìn)行干燥步驟，以去除水份；

進(jìn)行鍛燒步驟，以形成該第二催化劑；

其中該第二載體包含氧化鋁，該第二金屬鹽類水溶液為硝酸銅及硝酸鈰水溶液。

2.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中所述硫氟化合物包括：SF₆、SO₂F₂或SOF₂。

3.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中在該硫氟化合物與該第一催化劑接觸的步驟之前，還包括進(jìn)行加濕步驟。

4.如權(quán)利要求3所述的分解硫氟化合物的方法，其中該加濕步驟包括以注射方式導(dǎo)入水溶液，汽化該水溶液后，再以水蒸汽狀態(tài)混于該硫氟化合物。

5.如權(quán)利要求4所述的分解硫氟化合物的方法，其中水蒸汽氣體與該硫氟化合物的體積比例為30～120。

6.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第一催化劑由下列步驟制備，所述步驟包括：

將第一載體浸于第一金屬鹽類水溶液中；

進(jìn)行干燥步驟，以去除水份；

進(jìn)行鍛燒步驟，以形成該第一催化劑。

7.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第一載體包含氧化鋁。

8.如權(quán)利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第一金屬鹽類水溶液的金屬包含鎢、鎳、鋅或鈰。

9.如權(quán)利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第一金屬鹽類水溶液為硝酸鋅水溶液。

10.如權(quán)利要求8或9所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第一金屬鹽類水溶液中，鋅離子占整個(gè)溶液比例范圍是5～20mol％。

11.如權(quán)利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中在制備第一催化劑的步驟中，該第一載體浸于該第一金屬鹽類水溶液的時(shí)間范圍為3～12小時(shí)，該第一載體浸于該第一金屬鹽類水溶液的步驟的壓力低于一大氣壓，該干燥步驟溫度范圍在100～150℃之間，該干燥步驟時(shí)間范圍在8-12小時(shí)之間。

12.如權(quán)利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中，在制備第一催化劑的步驟中，鍛燒步驟溫度范圍在650～800℃之間，鍛燒步驟時(shí)間范圍在4.5～5.5小時(shí)之間。

13.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第一分解物包含SO₂F₂、HF及SO₃。

14.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第二金屬鹽類水溶液中，銅離子及鈰離子占整個(gè)溶液的比例范圍為3-20mol％。

15.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中，在制備第二催化劑的步驟中該第二載體浸于該第二金屬鹽類水溶液的時(shí)間范圍為3～12小時(shí)，其中該第二載體浸于該第二金屬鹽類水溶液的步驟低于一大氣壓。

16.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中，在制備第二催化劑的步驟中，該干燥步驟溫度范圍在100～150℃之間，該干燥步驟時(shí)間范圍在8-12小時(shí)之間，該鍛燒步驟溫度范圍在650～800℃之間，該鍛燒步驟時(shí)間范圍在4.5～5.5小時(shí)之間。

17.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中該第二分解物包含SO₃及HF。

18.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中分解該硫氟化合物的溫度范圍為500～800℃。

19.如權(quán)利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中該硫氟化合物流量與該第一催化劑體積比介于100～2200之間，該硫氟化合物流量與該第二催化劑體積比介于100～2200之間。