[發明專利]圖案形成方法以及半導體器件的制造方法無效
| 申請號： | 200610080276.0 | 申請日： | 2006-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN1862386A | 公開（公告）日： | 2006-11-15 |
| 發明（設計）人： | 伊藤信一;松永健太郎;河村大輔;大西廉伸 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 方法 以及 半導體器件 制造 | ||
【權利要求書】：
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