[發(fā)明專利]電化學(xué)處理槽無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610080234.7 | 申請(qǐng)日： | 2003-07-24 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1880517A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-12-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | M·X·楊;D·盧博米爾斯基;Y·N·多爾迪;S·辛格;S·塔爾施百格瓦勒;N·科瓦斯基 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C25D17/00 | 分類號(hào)： | C25D17/00;C25D7/12;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電化學(xué) 處理 | ||
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