[發明專利]用于浸沒式光刻的組合物和方法有效
| 申請號： | 200610079812.5 | 申請日： | 2006-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN1881085A | 公開（公告）日： | 2006-12-20 |
| 發明（設計）人： | D·王 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 浸沒 光刻 組合 方法 | ||
【權利要求書】：
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