[發明專利]用于涂覆基材的設備和模塊有效
| 申請號： | 200610073724.4 | 申請日： | 2006-04-10 |
| 公開（公告）號： | CN1854329A | 公開（公告）日： | 2006-11-01 |
| 發明（設計）人： | 漢斯·布赫貝格爾;安德烈亞斯·蓋斯;約爾格·克倫佩爾·黑塞;迪特爾·哈斯 | 申請（專利權）人： | 應用薄膜有限責任與兩合公司 |
| 主分類號： | C23C14/22 | 分類號： | C23C14/22;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京邦信陽專利商標代理有限公司 | 代理人： | 王昭林;唐曙暉 |
| 地址： | 德國阿*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 基材 設備 模塊 | ||
【權利要求書】：
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