[發(fā)明專利]多孔反應(yīng)注塑化學(xué)機械拋光墊的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610073713.6 | 申請日： | 2006-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN1846939A | 公開（公告）日： | 2006-10-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | D·B·詹姆斯;J·V·H·羅伯茨 | 申請（專利權(quán)）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號： | B24D17/00 | 分類號： | B24D17/00;C08J5/14 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多孔 反應(yīng) 注塑 化學(xué) 機械拋光 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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