[發明專利]洗滌方法及洗滌裝置無效
| 申請號： | 200610073365.2 | 申請日： | 2006-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN1840248A | 公開（公告）日： | 2006-10-04 |
| 發明（設計）人： | 速水直哉;藤田博 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/02;B05B7/04;B08B3/10;H01L21/304;G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 洗滌 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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