[發明專利]距離估計裝置、異常檢測裝置、溫度調節器及熱處理裝置無效
| 申請號： | 200610073286.1 | 申請日： | 2006-04-07 |
| 公開（公告）號： | CN1847786A | 公開（公告）日： | 2006-10-18 |
| 發明（設計）人： | 山田隆章;南野郁夫;尾崎史典 | 申請（專利權）人： | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號： | G01B21/16 | 分類號： | G01B21/16;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 邵亞麗;李曉舒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 距離 估計 裝置 異常 檢測 溫度 調節器 熱處理 | ||
【說明書】：
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