[發明專利]曝光方法和網目調型移相掩模無效
| 申請號： | 200610073208.1 | 申請日： | 2006-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN1845008A | 公開（公告）日： | 2006-10-11 |
| 發明（設計）人： | 谷口幸夫 | 申請（專利權）人： | 株式會社液晶先端技術開發中心 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 方法 網目 調型移相掩模 | ||
【權利要求書】：
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