[發明專利]光學元件和光照設備無效
| 申請號： | 200610071968.9 | 申請日： | 2006-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN1841210A | 公開（公告）日： | 2006-10-04 |
| 發明（設計）人： | 田中幸一郎 | 申請（專利權）人： | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉紅;張志醒 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 元件 光照 設備 | ||
【權利要求書】：
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