[發(fā)明專利]用于優(yōu)化全芯片層照明的方法、程序產(chǎn)品和設備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610071167.2 | 申請日： | 2006-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN1892430A | 公開（公告）日： | 2007-01-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | R·J·索查;J·F·陳 | 申請（專利權）人： | ASML蒙片工具有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 顧珊;魏軍 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 優(yōu)化 芯片 照明 方法 程序 產(chǎn)品 設備 | ||
【權利要求書】：
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