[發(fā)明專利]檢測芯片上缺陷的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610068014.2 | 申請日： | 2006-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN101042423A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 葉家憲;王淳生 | 申請（專利權(quán)）人： | 矽統(tǒng)科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/317 | 分類號： | G01R31/317;G01R31/28;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 蒲邁文;黃小臨 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢測 芯片 缺陷 方法 | ||
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