[發明專利]晶片承載盤的檢測方法無效
| 申請號: | 200610066936.X | 申請日: | 2006-03-30 |
| 公開(公告)號: | CN101046372A | 公開(公告)日: | 2007-10-03 |
| 發明(設計)人: | 盧一成 | 申請(專利權)人: | 南茂科技股份有限公司;百慕達南茂科技股份有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/26 | 分類號: | G01B11/26;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 | 代理人: | 壽寧;張華輝 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶片 承載 檢測 方法 | ||
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