[發(fā)明專利]化學(xué)機(jī)械研磨組合物

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610066640.8
• 申請(qǐng)日: 2006-04-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101058710A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯惠芳;劉文政;陳寶丞;陳彥良;陳瑞清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)興開(kāi)發(fā)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C09K3/14
• 分類號(hào): C09K3/14;H01L21/304
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉新宇

1.一種化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，其pH值范圍是介于2至5之間且包含一具有下列組分的混合物：一水性介質(zhì)、一研磨料、一腐蝕抑制劑、一表面活性劑、二酸類化合物及一由下述式(I)所示的金屬殘留抑制劑：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，以該混合物的總重為100wt％計(jì)算，該研磨料的含量為0.10～25.00wt％，該腐蝕抑制劑的含量為0.01～1.00wt％，該表面活性劑的含量為0.01～1.00wt％，該二酸類化合物的含量為0.01～1.00wt％，該金屬殘留抑制劑的含量為0.01～1.00wt％，以及其余含量為水性介質(zhì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該研磨料的含量為0.50～10.00wt％。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該研磨料的含量為0.50～5.00wt％。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該腐蝕抑制劑的含量為0.01～0.50wt％。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該腐蝕抑制劑的含量為0.01～0.20wt％。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該表面活性劑的含量為0.01～0.50wt％。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該表面活性劑的含量為0.01～0.30wt％。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該二酸類化合物的含量為0.05～1.00wt％。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該二酸類化合物的含量為0.10～1.00wt％。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該金屬殘留抑制劑的含量為0.01～0.50wt％。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該金屬殘留抑制劑的含量為0.01～0.30wt％。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該研磨料是選自于由下列物質(zhì)所構(gòu)成的群組：氧化硅、氧化鋁、氧化鋯、氧化鈰、碳化硅、氧化鈦、氮化硅及這些化合物的一組合。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該腐蝕抑制劑是選自于由下列所構(gòu)成的群組：苯并三唑、三聚氰酸、1，2，3-三唑、3-胺基-1，2，4-三唑、3-硝基-1，2，4-三唑、4-胺基-3-肼基-1，2，4-三唑基-5-硫醇、苯并三唑-5-羧酸、3-胺基-1，2，4-三唑-5-羧酸、1-羥基苯并三唑、硝基苯并三唑以及這些化合物的一組合。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該表面活性劑為陰離子型或非離子型活性劑。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該二酸類化合物是選自于由下列所構(gòu)成群組：丁二酸、己二酸、戊二酸及這些化合物的一組合。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該化學(xué)機(jī)械研磨組合物還包含一氧化劑。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該氧化劑與該混合物的含量比例為1∶9～1∶30。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該氧化劑是選自于由下列所構(gòu)成的群組：過(guò)氧化氫、硝酸鐵、碘酸鉀、過(guò)乙酸及高錳酸鉀。

20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該化學(xué)機(jī)械研磨組合物的pH值范圍為3～4。

21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，該混合物更具有甲酸。

22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的化學(xué)機(jī)械研磨組合物，其特征在于，以該混合物的總重為100wt％計(jì)算，該研磨料的含量為0.10～25.00wt％，該腐蝕抑制劑的含量為0.01～1.00wt％，該表面活性劑的含量為0.01～1.00wt％，該二酸類化合物的含量為0.01～1.00wt％，該金屬殘留抑制劑的含量為0.01～1.00wt％，該甲酸的含量為0.01～1.00wt％以及其余含量為水性介質(zhì)。