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[發明專利]半導體裝置及其制造方法有效

專利信息
申請號: 200610066615.X 申請日: 2006-04-13
公開(公告)號: CN1848437A 公開(公告)日: 2006-10-18
發明(設計)人: 福本彰;渡邊理繪 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: H01L27/088 分類號: H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/336
代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 代理人: 龍淳
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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