[發明專利]外圍曝光裝置有效
| 申請號： | 200610066097.1 | 申請日： | 2006-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN1841204A | 公開（公告）日： | 2006-10-04 |
| 發明（設計）人： | 田尾正則;谷川央樹;常吉豪 | 申請（專利權）人： | 東麗工程株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 董惠石 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 外圍 曝光 裝置 | ||
【權利要求書】：
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