[發明專利]掩模支撐座和蒸鍍系統有效
| 申請號： | 200610065463.1 | 申請日： | 2006-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN101041890A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 黃壬昶;曾文綬 | 申請（專利權）人： | 統寶光電股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/50;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波;侯宇 |
| 地址： | 臺灣省新*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 支撐 系統 | ||
【權利要求書】：
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