[發明專利]具有基板加熱功能的基板載放機構有效
| 申請號: | 200610065006.2 | 申請日: | 2006-03-15 |
| 公開(公告)號: | CN1835649A | 公開(公告)日: | 2006-09-20 |
| 發明(設計)人: | 小松智仁 | 申請(專利權)人: | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號: | H05B3/20 | 分類號: | H05B3/20;H01L21/205;H01L21/00;H05K3/00;H05K13/00 |
| 代理公司: | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人: | 龍淳 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 加熱 功能 基板載放 機構 | ||
【權利要求書】:
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