[發(fā)明專利]溶液涂敷裝置及溶液供給量的計(jì)量方法、溶液的供給方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610064773.1 | 申請(qǐng)日： | 2006-10-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1974027A | 公開（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 梶原慎二;松島大輔 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 芝浦機(jī)械電子株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | B05C5/02 | 分類號(hào)： | B05C5/02;B05C13/02;B05B13/04;B05C11/10;B05B1/28 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 黃劍鋒 |
| 地址： | 日本神*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 溶液 裝置 供給量 計(jì)量 方法 供給 | ||
【權(quán)利要求書】：
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