[發(fā)明專(zhuān)利]二烷基氨基二氫化鋁化合物的薄膜汽相淀積法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610064016.4 | 申請(qǐng)日： | 2006-11-16 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101029384A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-09-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | H·K·申;B·S·金;J·S·金;J·Y·金;Y·S·金;B·Y·趙 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 羅門(mén)哈斯公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C16/20 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C16/20;C23C16/46 |
| 代理公司： | 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美國(guó)賓夕*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 烷基 氨基 氫化 化合物 薄膜 汽相淀積法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
