[發明專利]光學計量系統和計量標記表征裝置有效
| 申請號： | 200610063645.5 | 申請日： | 2006-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN1991586A | 公開（公告）日： | 2007-07-04 |
| 發明（設計）人： | N·P·范德阿;A·J·鄧博夫;R·M·M·馬蒂杰;H·G·特爾莫舍 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;梁永 |
| 地址： | 荷蘭費*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 計量 系統 標記 表征 裝置 | ||
【說明書】：
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