[發明專利]基板承載裝置

無效

• 申請號: 200610061803.3
• 申請日: 2006-07-26
• 公開（公告）號: CN101112939A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發明（設計）人: 傅承祖;黃俊凱;何仁欽;蕭志斌
• 申請（專利權）人: 富士邁半導體精密工業（上海）有限公司;沛鑫半導體工業股份有限公司
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00;G02F1/1333
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種基板承載裝置，特別是一種用于制造平板顯示器(Flat?Panel?Display，FPD)時所用的基板承載裝置。

背景技術

平板顯示器主要包括液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display，LCD)、等離子顯示器(Plasma?Display?Panel，PDP)及有機發光二極管(Organic?Electroluminescent，OEL)顯示器等類型。上述平板顯示器是通過對由玻璃等物質所構成的基板進行加工所制成，而幾乎所有對基板的加工過程均需要在基板承載裝置上完成。故，利用基板夾持裝置對基板進行固定就顯得非常重要，其對加工精度有重要影響。

常用的基板夾持方法中，主要是使用真空吸盤(VacuumChuck)或靜電吸盤(Electrostatic?Chuck)對基板進行固持。

靜電吸盤是一種利用靜電吸附(粘附)基板的方法，其讓電流通過基板背面使其生成電場，然后利用電場使由玻璃等材料構成的基板帶電，進而利用其靜電力(Electrostatic?Force)吸附(粘附)基板。

真空吸盤是一種將基板置于吸盤上方，并從基板的背面吸出吸盤內的空氣，利用兩者之間的氣壓差夾持基板的方法。

一種利用真空吸盤原理固持彩色濾光片基板的簡要過程如下：(1)利用機械手將待加工的玻璃基板從基板載具(Cassette)中取出；(2)將玻璃基板放置在多個并列排布的升降樞軸(Lift?Pin)上。在此，升降樞軸是周期性排布在基板支座中，且該多個升降樞軸可以同時升起或同時收容在基板支座中，從而將玻璃基板抬起到基板支座上方或將其放到基板支座上。該基板支座中設置有多個周期性排布的孔洞，該孔洞與真空泵相連通；(3)將升降樞軸降落并收容在基板支座中，從而玻璃基板被置在基板支座上；(4)利用真空泵使孔洞內具有適當的負壓，從而將玻璃基板吸住。此時，玻璃基板就被固持在基板支座上。故，堆疊在基板載具中的玻璃基板的定位誤差通常為±3毫米～±5毫米，經過上述移動及固持過程此定位誤差依舊存在，進而造成后續對位動作用時過長。

有鑒于此，提供一種固持精度高并減少后續對位動作所用時間的基板承載裝置實為必要。

發明內容

以下將以實施例說明一種基板承載裝置。

一種基板承載裝置，其包括一個基板支座和多個夾持模組。該基板支座上具有多個第一通孔，該夾持模組包括一個主體部，至少一個夾持指桿，一個固持件，至少一個導向桿，至少一個第一彈性組件及一個激勵件。該夾持指桿的一端設置在該主體部內，另一端穿設于上述第一通孔。該固持件固定在該基板支座上，該導向桿設置在該固持件與主體部之間，其一端與該固持件相連，??另一端穿設于該主體部的導向通孔中。該導向桿可在該導向通孔中移動。第一彈性組件套設在該導向桿上，其兩端分別抵靠在固持件與主體部上。該激勵件可以使該主體部沿導向桿延伸方向移動。

和現有技術相比，所述基板承載裝置采用多個夾持模組來完成夾持對位動作，故其可具有較高定位精度，并可以減小夾持及后續對位動作中的誤差并減少夾持及對位動作所用時間。

附圖說明

圖1是本發明基板承載裝置第一實施例的結構示意圖。

圖2是本發明基板承載裝置第一實施例的部分截面圖。

圖3是圖2中所示夾持模組的結構示意圖。

圖4是圖2中所示夾持模組的分解示意圖。

圖5是圖2中所示夾持模組的部分剖面圖。

圖6是本發明基板支撐裝置的工作狀態示意圖。

圖7是本發明基板承載裝置第二實施例中夾持模組的部分剖面示意圖。

圖8是本發明基板承載裝置第二實施例的結構示意圖。????

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳細說明。