[發明專利]組合式坩堝

無效

• 申請號: 200610061368.4
• 申請日: 2006-06-28
• 公開（公告）號: CN101096748A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 簡士哲
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種組合式坩堝，特別是一種蒸鍍用坩堝(Crucible?for?Thermal?Evaporation)。

背景技術

蒸鍍(Evaporation)法是一種屬于物理氣相沉積(PhysicalVapor?Deposition)的鍍膜應用技術，其是將一種用于沉積薄膜的材料放置在一個坩堝(Crucible)內施加熱能，使該材料分解為氣態的原子、原子集合體或分子，以凝聚在待鍍膜基板表面而形成薄膜，施加熱能可以使用電阻加熱器、鹵素燈加熱器或感應加熱器等。蒸鍍法可廣泛應用于制造太陽能電池、半導體晶片、平面顯示器、光學鏡片、裝飾鍍膜等領域。坩堝是蒸鍍設備中的重要元件之一。

請同時參考圖1和圖2，一種組合式坩堝100由無底錐形坩堝110和坩堝底座120組成，該無底錐形坩堝110的尾部112放置在坩堝底座120的收容部122內。該坩堝110也可為尾部為U型坩堝及開口側壁向外延伸具有一延伸部的坩堝等。蒸鍍用坩堝通常采用耐高溫抗蒸發的材質所制備，如鉬、鎢等。當無底錐形坩堝110放置在坩堝底座的收容部122內時，無底錐形坩堝110與坩堝底座的收容部122接觸面積較小且無底錐形坩堝110與坩堝底座的收容部122之間存在一定的間隙130，進而造成導熱效果不良。

有鑒于此，提供一種導熱效果較好的組合式坩堝實為必要。

發明內容

以下將以實施例說明一種組合式坩堝。

一種組合式坩堝，其包括坩堝及坩堝底座，該坩堝底座具有收容部，該坩堝設置在該收容部內，該坩堝的外壁與該收容部的內壁通過凹凸結構相嚙合，用以增大坩堝及坩堝底座的接觸面積。

該組合式坩堝可以用于多種不同蒸鍍設備，利用不同的加熱方式對該組合式坩堝進行加熱時，由于該坩堝的外壁與該收容部的內壁上相嚙合，故坩堝會受熱膨脹從而和坩堝底座緊密的貼合，所以二者之間具有很好的導熱效果。由于制程的需要，需要利用冷卻裝置對組合式坩堝進行冷卻時，由于該坩堝的外壁與該收容部的內壁上相嚙合，坩堝和坩堝底座之間可以很好的貼合且具有較大的接觸面積，故該組合式坩堝具有很好的冷卻效果。

附圖說明

圖1是現有組合式坩堝的結構示意圖。

圖2是圖1中組合式坩堝沿II-II的截面示意圖。

圖3是本發明組合式坩堝第一實施例的結構示意圖。

圖4是圖3中組合式坩堝沿IV-IV的截面示意圖。

圖5是本發明組合式坩堝第二實施例的結構示意圖。

圖6是圖5中組合式坩堝沿VI-VI的截面示意圖。

圖7是本發明組合式坩堝第三實施例的結構示意圖。

圖8是圖7中組合式坩堝沿VIII-VIII的截面示意圖。

圖9是本發明組合式坩堝第四實施例的結構示意圖。

圖10是圖9中組合式坩堝沿IX-IX的截面示意圖。

圖11是本發明組合式坩堝的坩堝的截面示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳細說明。

請同時參考圖3和圖4，本發明第一實施例的組合式坩堝200包括坩堝210和坩堝底座220，該坩堝210為圓筒形，該坩堝210的外壁上的凸起為螺紋型排布的螺牙212，該坩堝底座220具有收容部222。該收容部222的內壁具有與上述螺牙212相配合的螺紋型凹槽224，該坩堝210可以旋入該坩堝底座220的收容部222內。該坩堝210的材料可以是鉬、銅、鎢、石英玻璃等。

請同時參考圖5和圖6，本發明第二實施例的組合式坩堝300和第一實施例的組合式坩堝200基本相同，不同之處在于：坩堝底座220所具有的收容部222的內壁上亦可具有螺紋型排布的螺牙224’，則該坩堝210的外壁具有與該收容部222的內壁上的螺牙224’相配合的凹槽212’。

利用不同的加熱方式對該組合式坩堝200進行加熱時，坩堝210因受熱會少許膨脹，由于坩堝210的外壁具有螺紋型排布的螺牙212，該收容部222的內壁具有與該坩堝210的外壁上的螺牙212相配合的螺紋型凹槽224，坩堝210和坩堝底座220之間具有較大的接觸面積，所以二者之間具有很好的導熱效果。同理，利用冷卻裝置(圖未示)對組合式坩堝200進行冷卻時，坩堝210和坩堝底座220之間具有較大的接觸面積，故該組合式坩堝200具有很好的冷卻效果。