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[發明專利]半導體大規模集成電路及半導體大規模集成電路制造方法無效

專利信息
申請號: 200610059431.0 申請日: 2006-03-02
公開(公告)號: CN1828901A 公開(公告)日: 2006-09-06
發明(設計)人: 松澤一也 申請(專利權)人: 株式會社東芝
主分類號: H01L27/088 分類號: H01L27/088;H01L27/12;H01L21/8232;H01L21/84;H03K19/20
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 代理人: 李春暉
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 大規模集成電路 制造 方法
【權利要求書】:
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