[發(fā)明專利]放射線敏感性樹(shù)脂組合物及液晶顯示元件用間隔體無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610059403.9 | 申請(qǐng)日: | 2006-03-02 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN101030036A | 公開(kāi)(公告)日: | 2007-09-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 一戶大吾;梶田徹 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | JSR株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G03F7/004 | 分類號(hào): | G03F7/004;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/00;G02F1/133 |
| 代理公司: | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 孫秀武;鄒雪梅 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 放射線 敏感性 樹(shù)脂 組合 液晶顯示 元件 間隔 | ||
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
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