[發明專利]使用掃描激光SQUID顯微鏡的檢查方法及裝置無效
| 申請號： | 200610059148.8 | 申請日： | 2006-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN1834675A | 公開（公告）日： | 2006-09-20 |
| 發明（設計）人： | 二川清 | 申請（專利權）人： | 恩益禧電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;G01R31/02;G01N27/82;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陸錦華;李亞 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 使用 掃描 激光 squid 顯微鏡 檢查 方法 裝置 | ||
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