[發(fā)明專利]用于清洗化學(xué)機械平坦化的研磨墊的水性清洗組合物無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610058531.1 | 申請日： | 2006-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN101037645A | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 侯惠芳;劉文政;陳彥良;陳瑞清 | 申請（專利權(quán)）人： | 長興開發(fā)科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C11D7/26 | 分類號： | C11D7/26;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 中國臺灣高雄縣臺南科學(xué)工*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 清洗 化學(xué) 機械 平坦 研磨 水性 組合 | ||
【說明書】：
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