[發明專利]雙面拋光機無效
| 申請號： | 200610057412.4 | 申請日： | 2006-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN101036976A | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發明（設計）人： | 朱蓉輝;趙冀;惠峰;卜俊鵬;鄭紅軍 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | B24B29/00 | 分類號： | B24B29/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙面 拋光機 | ||
【說明書】：
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