[發明專利]在玻璃基板上沉積TiN薄膜的方法無效
| 申請號： | 200610053270.4 | 申請日： | 2006-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN1915879A | 公開（公告）日： | 2007-02-21 |
| 發明（設計）人： | 趙高凌;張天播;鄭鵬飛;韓高榮 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | C03C17/22 | 分類號： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 | 代理人： | 韓介梅 |
| 地址： | 310027浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 基板上 沉積 tin 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
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