[發明專利]表面特性測量儀的平直度校正方法以及表面特性測量儀有效
| 申請號： | 200610051467.4 | 申請日： | 2006-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN1847787A | 公開（公告）日： | 2006-10-18 |
| 發明（設計）人： | 片山實;加納孝文 | 申請（專利權）人： | 三豐株式會社 |
| 主分類號： | G01B21/30 | 分類號： | G01B21/30;G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 王景剛;王冉 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 特性 測量儀 平直 校正 方法 以及 | ||
【權利要求書】：
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