[發明專利]通過摻雜V改善TiN薄膜導電性能的方法有效
| 申請號： | 200610050717.2 | 申請日： | 2006-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN1850690A | 公開（公告）日： | 2006-10-25 |
| 發明（設計）人： | 趙高凌;張天播;鄭鵬飛;韓高榮 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | C03C17/22 | 分類號： | C03C17/22;C03C4/14 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 310027*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 通過 摻雜 改善 tin 薄膜 導電 性能 方法 | ||
【說明書】：
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