[發(fā)明專利]發(fā)光器件制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610039465.3
• 申請(qǐng)日: 2006-04-12
• 公開（公告）號(hào): CN101055905A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李賢宰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京LG同創(chuàng)彩色顯示系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L33/00
• 分類號(hào): H01L33/00;H01L21/60
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃威;張金海

1、一種發(fā)光器件制造方法，其特征在于，包括如下幾個(gè)階段：

第一階段：藍(lán)寶石基板上形成氮化物半導(dǎo)體層；

第二階段：氮化物半導(dǎo)體層上部形成發(fā)光器件；

第三階段：所述發(fā)光器件的最上層形成UBM層；

第四階段：焊接用基板上部形成有UBM層，在焊接用基板的UBM層上部，形成有在InSn，InZn，InAg和InBi中選擇一個(gè)構(gòu)成的焊接物質(zhì)膜；

第五階段：將所述的焊接用基板的焊接物質(zhì)膜與發(fā)光器件的UBM層相接觸，進(jìn)行加熱和壓著、焊接；

第六階段：藍(lán)寶石基板上照射激光，將藍(lán)寶石基板從發(fā)光器件中摘除。

2、如權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件制造方法，其特征在于，焊接物質(zhì)膜是InSn，在總重量中Sn占10wt％-55wt％。

3、如權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件制造方法，其特征在于，焊接物質(zhì)膜是InZn，在總重量中Zn占1wt％-4wt％。

4、如權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件制造方法，其特征在于，焊接物質(zhì)膜是InAg，在總重量中Ag占1wt％-5wt％。

5、如權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件制造方法，其特征在于，焊接物質(zhì)膜是InBi，在總重量中Bi占1wt％-60wt％。