[發明專利]強背景光環境下弱光光斑測量遮光罩無效
| 申請號： | 200610037934.8 | 申請日： | 2006-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN1825074A | 公開（公告）日： | 2006-08-30 |
| 發明（設計）人： | 侯再紅 | 申請（專利權）人： | 中國科學院安徽光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01J1/02 | 分類號： | G01J1/02 |
| 代理公司： | 合肥華信專利商標事務所 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 背景 環境 弱光 光斑 測量 遮光 | ||
【權利要求書】：
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