[發明專利]步進式曝光機的圖案影像設定及倍率誤差補償方法有效
| 申請號： | 200610036082.0 | 申請日： | 2006-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN1869817A | 公開（公告）日： | 2006-11-29 |
| 發明（設計）人： | 梁茂生;梁茂忠;高啟清 | 申請（專利權）人： | 志圣科技（廣州）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 廣州市南鋒專利事務所有限公司 | 代理人： | 李永慶 |
| 地址： | 510850廣東省廣州*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 步進 曝光 圖案 影像 設定 倍率 誤差 補償 方法 | ||
【權利要求書】：
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