[發(fā)明專利]雙元碳化物共沉積纖維增強(qiáng)復(fù)合材料的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610032336.1
• 申請日: 2006-09-28
• 公開（公告）號: CN101153384A
• 公開（公告）日: 2008-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李國棟;熊翔;陳昭科;黃伯云;張紅波;肖鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 中南大學(xué)
• 主分類號: C23C16/32
• 分類號: C23C16/32;C23C16/52;C23C16/448
• 代理公司: 中南大學(xué)專利中心
• 代理人: 龔燦凡

1.雙元碳化物共沉積纖維增強(qiáng)復(fù)合材料的制造方法，包括沉積坯體的制備、沉積，其特征在于：

沉積坯體為纖維編制體或纖維氈體，纖維為C纖維、硼纖維、陶瓷纖維或難熔金屬纖維；

沉積坯體入爐：將坯體裝入化學(xué)氣相滲透/沉積爐，對沉積爐抽真空并保持在100Pa以下，升溫至沉積溫度700～1600℃；

坯體共沉積：沉積爐同時(shí)通入碳源氣、兩種碳化物的金屬M(fèi)₁、M₂源氣、氫氣和稀釋氣體Ar氣，進(jìn)行M₁C與M₂C的共沉積，共沉積壓力50～10000Pa；

所述碳源氣為氣態(tài)碳?xì)浠衔?，包括CH₄、C₂H₆、C₃H₈、C₃H₆、C₂H₄或C₂H₂；或可汽化碳?xì)浠衔铮ㄒ夯瘹?、天然氣、環(huán)己烷或C₆H₆；

所述碳化物的熔點(diǎn)在2000℃以上，包括HfC、TaC、ZrC、NbC、WC、TiC、SiC、B₄C、VC或AlC；

所述M₁、M₂源氣為氣態(tài)或可加熱汽化的鹵化物或有機(jī)化合物，包括MF₅、MCl₅、MBr₅、MI₅、MCl₄、MF₄、MBr₄、MI₄、MCl₃、MF₃、MBr₃、MI₃、HMCl₃、H₂MCl₂、H₃MCl、M(OC₂H₅)₅、M(OC₂H₅)₄、M(OC₂H₅)₃、CH₃MCl₃、(CH₃)₂MCl₂、(CH₃)₃MCl、MH₄或MH₃；

關(guān)閉反應(yīng)氣體，通稀釋氣體Ar，降溫，沉積制品出爐，切去制品表面致密碳化物結(jié)皮，超聲波清洗、干燥；

重復(fù)上述過程，直到沉積制品密度指標(biāo)達(dá)到使用要求為止。