[發明專利]一種旋轉噴腐方法的化學挖槽工藝方法及裝置有效
| 申請號： | 200610031477.1 | 申請日： | 2006-04-06 |
| 公開（公告）號： | CN1869284A | 公開（公告）日： | 2006-11-29 |
| 發明（設計）人： | 張明;李繼魯;戴小平;蔣誼;陳芳林 | 申請（專利權）人： | 株洲南車時代電氣股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/00 | 分類號： | C23F1/00;C23F1/24;H01L21/302 |
| 代理公司： | 湖南兆弘專利事務所 | 代理人： | 趙洪 |
| 地址： | 412007*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 方法 化學 工藝 裝置 | ||
【說明書】：
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