[發明專利]自動目檢方法有效
| 申請號： | 200610030806.0 | 申請日： | 2006-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN101140307A | 公開（公告）日： | 2008-03-12 |
| 發明（設計）人： | 吳文彬 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66;G06F19/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 自動 方法 | ||
1.一種自動目檢方法，包括：
獲得晶片良率測試圖像；
將晶片良率測試圖像轉化為自動目檢工具可接受的文件格式；
對已轉換文件格式的晶片良率測試圖像進行選擇性自動目檢；
獲得自動目檢圖像。
2.根據權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于：將所述晶片良率測試圖像轉化為后續自動目檢工具接受的文件格式的步驟包括：
確定實際自動目檢區域；
將實際自動目檢區域內芯片作特定識別標記。
3.根據權利要求2所述的自動目檢方法，其特征在于：所述實際自動目檢區域內包含全部晶片良率測試合格芯片。
4.根據權利要求2所述的自動目檢方法，其特征在于：所述實際自動目檢區域內包含部分晶片良率測試合格芯片。
5.根據權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于：所述自動目檢工具接受的文件格式為SINF格式。
6.根據權利要求3所述的自動目檢方法，其特征在于：所述選擇性自動目檢包括對實際自動目檢區域內全部晶片良率測試合格芯片進行自動目檢。
7.根據權利要求4所述的自動目檢方法，其特征在于：所述選擇性自動目檢包括對實際自動目檢區域內部分晶片良率測試合格芯片進行自動目檢。
8.根據權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于：所述獲得自動目檢圖像的步驟包括：
對實際自動目檢區域內的芯片進行自動目檢；
根據自動目檢結果將芯片分為合格芯片及失效芯片；
將合格芯片及失效芯片的特定識別標記分別改為合格芯片標記及失效芯片標記。
9.根據權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于：所述自動目檢圖像中只包含合格芯片標記及失效芯片標記。
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