[發明專利]光刻投影物鏡遠心測量方法有效
| 申請號： | 200610029273.4 | 申請日： | 2006-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN1888981A | 公開（公告）日： | 2007-01-03 |
| 發明（設計）人： | 楊之文 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 投影 物鏡 測量方法 | ||
【權利要求書】：
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