[發(fā)明專利]光強(qiáng)數(shù)據(jù)總線系統(tǒng)及方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610024785.1 | 申請(qǐng)日: | 2006-03-16 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN1818797A | 公開(kāi)(公告)日: | 2006-08-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 韋學(xué)志;周暢;陳勇輝 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F7/20 | 分類號(hào): | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司: | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人: | 王潔 |
| 地址: | 201203上海市*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 數(shù)據(jù) 總線 系統(tǒng) 方法 | ||
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G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
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G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
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