[發明專利]一種低溫圓片級微型氣體盒的制作方法無效
| 申請號： | 200610023325.7 | 申請日： | 2006-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN1827522A | 公開（公告）日： | 2006-09-06 |
| 發明（設計）人： | 劉玉菲;吳亞明;李四華;劉文平 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | B82B3/00 | 分類號： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 低溫 圓片級 微型 氣體 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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