[發(fā)明專利]電磁激勵(lì)高階模態(tài)硅微機(jī)械懸臂梁的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610023320.4 | 申請(qǐng)日： | 2006-01-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1880211A | 公開（公告）日： | 2006-12-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李昕欣;金大重;劉劍;左國(guó)民;劉民 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類號(hào)： | B81B3/00 | 分類號(hào)： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電磁 激勵(lì) 高階模態(tài)硅 微機(jī) 懸臂梁 驅(qū)動(dòng) 結(jié)構(gòu) 制作方法 應(yīng)用 | ||
【說明書】：
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