[發(fā)明專利]一種穩(wěn)定的液體靶激光等離子體光源

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610017028.1
• 申請(qǐng)日: 2006-07-20
• 公開（公告）號(hào): CN101111118A
• 公開（公告）日: 2008-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尼啟良;陳波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): H05G2/00
• 分類號(hào): H05G2/00;H01S4/00
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所
• 代理人: 趙炳仁

1.一種穩(wěn)定的液體靶激光等離子體光源，包括壓電陶瓷振子、密封桿、入氣口、絕緣桿、閥體、彈簧、密封桿閥尖、噴嘴入口、制冷管、真空靶室、噴嘴、真空泵、聚光透鏡、激光束、真空靶室窗口、噴嘴出口、陽(yáng)極；其特征在于還包括密封圈(39)、(40)、螺栓(41)、絕熱板(42)、致冷器支架(43)、半導(dǎo)體致冷器(44)、傳熱金屬(47)、真空靶室法蘭(48)、真空靶室殼體(50)；該光源分為兩部分，上部為制冷系統(tǒng)，下部為閥體和真空靶室系統(tǒng)；上部由絕緣板(42)形成的腔體包圍著；上、下兩部分通過(guò)金屬法蘭(38)、絕熱板(42)的腔體下開口平直沿和真空靶室法蘭(48)用螺栓(41)固連在一起；在金屬法蘭(38)的下凹槽內(nèi)置有密封圈(39)；在真空靶室法蘭(48)的端部槽內(nèi)置有密封圈(40)；在絕緣板(42)內(nèi)裝有致冷器支架(43)，致冷器支架(43)的上端與絕緣板(42)的頂部固連，絕緣板(42)的頂部中心開有孔，金屬制冷管(46)的入氣口(45)穿過(guò)中心孔伸向絕緣板(42)的外部，金屬制冷管(46)位于致冷器支架(43)中心對(duì)稱位置，金屬制冷管(46)的側(cè)面是傳熱金屬(47)，兩者緊密接觸，傳熱金屬(47)的下端與金屬法蘭(38)固連，在傳熱金屬(47)的外側(cè)裝有半導(dǎo)體致冷器(44)，它與致冷器支架(43)固連，金屬制冷管(46)的下端通過(guò)金屬法蘭(38)上的孔與閥體(37)相通，在閥體(37)的腔內(nèi)，裝有復(fù)位彈簧(36)，復(fù)位彈簧(36)的上面中心位置垂直固連裝有絕緣桿(34)，在復(fù)位彈簧(36)的下面裝有壓縮彈簧(35)，復(fù)位彈簧(36)和壓縮彈簧(35)都固定在閥體(37)上；壓電陶瓷振子(33)的兩端固定在壓縮彈簧(35)上，密封桿(32)在壓電陶瓷振子(33)下面并與其垂直固定在壓電陶瓷振子(33)的中心處，在壓電陶瓷振子(33)的作用下，產(chǎn)生上下位移，密封桿的閥尖(31)對(duì)準(zhǔn)噴嘴入口(30)，密封桿的閥尖(31)下落時(shí)可以封住噴嘴入口(30)，密封桿的閥尖(31)向上移動(dòng)，噴嘴入口(30)暢通；陽(yáng)極(49)固定在閥體(37)上，并與閥體(37)絕緣，閥體(37)用作陰極；真空泵(27)和真空靶室(29)相通，在真空靶室殼體(50)上開有真空靶室窗口(25)，在窗口外側(cè)置有聚光透鏡(24)，聚光透鏡(24)的光軸垂直于真空靶室窗口(25)，激光束23經(jīng)聚光透鏡(24)和真空靶室窗口(25)聚焦在從噴嘴出口(26)噴出的液體上。