[發明專利]凹面光柵制作光路中測量波源點與毛坯中心點距離的方法

無效

• 申請號: 200610016901.5
• 申請日: 2006-06-02
• 公開（公告）號: CN101082480A
• 公開（公告）日: 2007-12-05
• 發明（設計）人: 李文昊;齊向東;巴音賀希格;李英海
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/14
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所
• 代理人: 趙炳仁

1、凹面光柵制作光路中測量波源點與毛坯中心點距離的方法，其特征在于：第一步，建立一套凹面全息光柵曝光裝置；包括Kr+激光器(1)、第一平面反射鏡(2)、半反半透鏡(3)、第二平面反射鏡(4)和第三平面反射鏡(5)、第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)、干涉場(8)和光柵毛坯(9)；在Kr+激光器(1)的激光束傳播方向的光軸上置有第一平面反射鏡(2)，第一平面反射鏡(2)與光軸成45°角；在第一平面反射鏡(2)的反射光的光路上置有半反半透鏡(3)，它的半反半透面與光軸成45°角；分別在半反半透鏡(3)的反射面和透射面出射光的光軸上置有第二平面反射鏡(4)和第三平面反射鏡(5)；分別在第二平面反射鏡(4)和第三平面反射鏡(5)的反射光線的光軸上置有第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)；第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)發射光線的交匯區域形成了干涉場(8)；在干涉場(8)內置有光柵毛坯(9)，光柵毛坯(9)的中心點位于干涉場(8)的中心位置；本發明要測量的是經過第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)發出的球面波波源點與光柵毛坯(9)的中心點之間的距離，也就是針孔位置與毛坯中心點之間的距離；第二步，制備一套測量凹面全息光柵制作光路中波源點與毛坯中心點之間距離的裝置；包括帶有刻度的滑軌(10)、帶有刻度的游標(11)、轉接桿(12)、夾具(13)、千分表右探頭(14)、千分表左探頭(15)和千分表(16)；帶有刻度的游標(11)安裝在帶有刻度的滑軌(10)上，兩者之間滑動接觸，兩者的結合相當于游標卡尺，固定在轉接桿(12)的下端，并與轉接桿(12)垂直，夾具(13)在轉接桿(12)的上端，固定在轉接桿(12)的腔內，千分表(16)和它的左、右探頭是一體件，千分表右探頭(14)水平地穿過夾具(13)，伸向夾具(13)的右方，千分表(16)的左探頭(15)和右探頭(14)在同一水平軸線上；第三步，利用第一步建立的凹面全息光柵曝光裝置的光路，光路中沒有擺放第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)，而第二平面反射鏡(4)、第三平面反射鏡(5)和光柵毛坯(9)的位置已經確定，激光束正好打在光柵毛坯(9)的中心位置O，用虛線畫出的第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)表示需要放入光路中的位置，它們的具體位置要根據具體數值和測距裝置來確定；第四步，調整第二步中建立的測距裝置在干涉場中的位置，使千分表的兩個探頭即千分表右探頭(14)和千分表左探頭(15)與激光的主光軸重合；第五步，根據球面波波源點與凹面全息光柵毛坯中心點的具體數值，結合游標卡尺、千分表和高度尺的刻度值，確定第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)的位置；第一針孔濾波器(6)和第二針孔濾波器(7)的針孔位置到凹面全息光柵毛坯中心點的距離就是所測的波源點到凹面全息光柵毛坯中心點的距離。