[發明專利]微納結構3D輪廓測量中基于坐標變換的傾斜誤差補償方法有效
| 申請號： | 200610015496.5 | 申請日： | 2006-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN1912540A | 公開（公告）日： | 2007-02-14 |
| 發明（設計）人： | 栗大超;黃玉波;傅星;胡小唐 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | G01B21/20 | 分類號： | G01B21/20;G01B11/24;G01N13/10 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 | 代理人： | 江鎮華 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 結構 輪廓 測量 基于 坐標 變換 傾斜 誤差 補償 方法 | ||
【說明書】：
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