[發明專利]一種除藻型拋光液

無效

• 申請號: 200610014596.6
• 申請日: 2006-06-30
• 公開（公告）號: CN101096576A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 仲躋和;李家榮;周云昌;高如山
• 申請（專利權）人: 天津晶嶺電子材料科技有限公司
• 主分類號: C09G1/14
• 分類號: C09G1/14;H01L21/304
• 代理公司: 國嘉律師事務所
• 代理人: 盧楓

1、一種除藻型拋光液，其特征在于它是由SiO₂溶膠、pH值調節劑、表面活性劑、殺菌除藻劑、螯合劑和水混合組成，其重量分數配比：SiO₂溶膠占25％～45％，pH值調節劑占5％～10％，表面活性劑占1％～4％，殺菌除藻劑占0.02～2％，螯合劑占0.1～3％，水占30％～65％；PH值范圍為9～13.5，粒徑范圍為10～130nm。

2、根據權利要求1所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的SiO₂溶膠可取粒徑10～130nm的二氧化硅溶膠。

3、根據權利要求1所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的pH值調節劑取有機堿類，包括多羥多胺、胺堿、羥胺或醇胺。

4、根據權利要求1所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的表面活性劑包括聚氧乙烯醚類非離子表面活性劑、多元醇酯類非離子表面活性劑和高分子及元素有機系非離子表面活性劑中的一種或兩種以上組合。

5、根據權利要求4所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的聚氧乙烯系非離子表面活性劑是聚氧乙烯烷基酚、聚氧乙烯脂肪醇、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯胺或聚氧乙烯酰胺；所說的多元醇酯類非離子表面活性劑是乙二醇酯、甘油酯或聚氧乙烯多元醇酯。

6、根據權利要求1所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的殺菌除藻劑類包括三嗪類、酚類、氧化劑類、揮發性烷化劑類或非氧化型殺生劑類殺菌除藻劑。

7、根據權利要求6所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的三嗪類包括羥乙基均三嗪殺菌除藻劑；所說的非氧化型殺生劑包括季銨鹽、異噻唑啉酮、戊二醛、季憐鹽或氯酚類殺菌除藻劑。

8、根據權利要求7所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的季銨鹽包括氯化十二烷基二甲基芐基銨。

9、根據權利要求1所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的螯合劑包括乙二胺四乙酸二鈉鹽(EDTA)，四乙酸四羥乙基乙二胺鹽或13個以上螯合環容丁水螯合劑。

10、根據權利要求1所說的一種除藻型拋光液，其特征在于所說的水可取去離子水。